半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
项目流程后台
该制造业园积聚了十余家半导体行业有关系工厂,结构设计日整理力量5000吨,要有整理来有所不同工厂的混合式废污水正确处理施工工艺。是因为各工厂制造施工工艺不同之处大,废污水正确处理施工工艺含量繁复变化,整理难易度较高。
废气营养成分及源
废渣主耍具有五大类:高质量溶度三聚氰胺树脂废渣(光刻胶、显影液液等)、含氟废渣(刻蚀制作工艺)和腐蚀性废渣(除垢制作工艺)。比较特殊化学物质具有异丙醇、四甲基氢阳极氧化铵等难可降解三聚氰胺树脂物,及及氟化物、挥发酚等三聚氰胺树脂污染破坏物。废渣COD波动性大(500-3000mg/L),氟化物质量溶度100-500mg/L,挥发酚50-150mg/L。
治理艺程序流程
用到"归类持续+分质补救+分散深度1补救"的研发形式 :
机构实物类型预操作:含氟工业废水专门持续并预操作
科技园区供水管道进行分类运输系统的
融合上下调整池均匀水污染
二级沥青混凝土沉定删去漂浮物和溶液
高效化生物制品发应器(HBR)加工巧妙生态破坏物
臭氧老化催化剂的作用腐蚀挥发难可分解可挥发物
反浸入系统性通过脱盐除理
太阳光线杀菌加强组织领导喷水安全保障
比较设有了优酷云污染监测操作设计和半自动加量操作设计,对于水质量波动性。
决定特效
系統运转四年来,整理郊果稳定性高牢靠。溢水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,挥发酚<5mg/L,总氮<15mg/L,实现水资源Ⅳ类标准单位,要素造纸废水处理于科技项目环卫绿化及急冷塔补充水分,造纸废水处理率小于30%。年年提高优质水用到约20万吨,为科技项目行业节约开支煤气费数百人万块。