半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
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该半导厂家地处长角形省份,具体生產的8屏幕尺寸和12屏幕尺寸晶圆,日直接进行排放废排水量约2000吨。会因为生產的工艺设计复杂的,废泥里含很多难降解塑料有机肥料物和血本属阴离子,傳統整理步骤其特性很难够满足不断严格的的直接进行废水排放标准单位。
工业废水成分表及原因
生活污水主耍的来发源三个的环节:晶圆分割生活污水有效一大批硅粉和分割液留;化学工业厂家镜面抛光生活污水所含溶液硅和研磨设备科粒;刻蚀难以清理生活污水有效氟化物、铜阳离子等血本属;光刻工序生活污水则有效光阻剂等无机造成的废弃物。水体特色是COD高(800-1500mg/L)、氟化物酸度高(200-400mg/L)、浮悬物多且有效进样器血本属。
处里新生产工艺图
利用"有机化学预治疗+什么是生化治疗+深层次治疗"的组合名字工艺设备:
可以调节池均匀水体质量蓄水量
混泥土积淀除去飘浮物和溶液化学物质
电化学滤渣法正规净化处理氟化物,添加钙盐变成氟化钙滤渣
溶解过酸池增强生产废水可什么是生化性
接处氧化反应池挥发无机污染源物
特异性炭离心分离塔采取高度办理
膜隔离系统的为了确保有水出饮用水不稳
面向含铜废气分开设备阴离子相互交换装置,收回有价值量的废金属铜。
结果英文效果好
工程成立后执行不稳定性,满水后COD<50mg/L,氟化物酸度<5mg/L,铜阳离子酸度<0.3mg/L,贴心的售后服务统计指标均依赖于国家地区《智能工業水被污染的物污染物规格》(GB 39731-2020)。每一年可下降COD污染物约300吨,氟化物污染物约50吨,回笼铜铝合金约2吨,体现了大环境管理整体与条件管理整体的共赢。