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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

品牌的背景 该半导体芯片芯片商家隶属于长三边形地方,包括生产的的854英寸和1254英寸晶圆,日尾气尾气排放标标废排水量约2000吨。是由于半导体芯片芯片生产的的制作工艺有难度,生活污水元素齐全且带有许多种难挥发元素,商家原先外理体系没办法需要满足愈发严要求的环保型尾气尾气排放标标标,故投资项目4000万元新砌专业的生活污水外理站。 生产废水部分及來源 该公司废水处理工艺包括分为4类: 含氟污废水 :是因为晶圆蚀刻、洗生产工序,氟亚铁离子浓度值超过2000mg/L; 无机会生产废水:来源于光刻、定影等新工艺,具有异丙醇、异丙醇等无机会石油醚,COD值在5000mg/L作用; 酸碱性电镀废水:产生于除污和外面处理环节,pH值下跌大; 含铜生活污水:位于电渡和复合所有艺,铜阴离子含量约150mg/L。 加工处理加工流程图 根据不同于规定性的废水操作,进行"种类征集+分质操作+终端深度.操作"的搭配组合加工制作工艺 : 含氟废水加工处理方法加工处理线: 二级生物积淀:先加药系统氯化钙调高pH至6-7,另加入PAC和PAM二沉池积淀; 活性酶被氧化铝粉活性炭吸附:以保证氟化合物渗透压低于8mg/L以內。 有机质废液补救线: 微电解设备反馈:铁碳弹性填料床预正确处理改善生产废水可生化学性; UASB好氧菌发应器:HRT=24h,COD删去率65%; MBR膜微生物症状器:所采用PVDF中空夹胶玻璃合成纤维膜,出液COD<50mg/L。 酸碱平衡焦化废水中合系统化: 自功pH设定:依据在线视频监测站仪把控好加酸加碱量; 水解酸化池沉定:弄掉采和产生了的悬浮物物。 含铜电镀废水处置: 化学上沉积出的:添加NaOH调试pH至9-10,养成氢防氧化铜沉积出的; 化合物交換:确定铜化合物浓硫酸浓度<0.3mg/L。 深度的解决第一单元: O3离子液体脱色:进三步降解塑料难被分解转换成苯的同系物物; 亲水性炭过滤清洁:清除碱度和轻微破坏物; UV紫外光线线进行消毒:有效确保出液的微生物技术目标达到。 后面效果好 内容正常运作后,水流生活饮用水平衡达到《电子厂产业水空气环境有害特性污染物标准规定》(GB 39731-2020)格外污染物规定值符合要求,当中氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。次年可极大减少氟化物污染物约120吨,COD污染物约400吨,回收公司水自然资源约10万吨。操作系统自動化数量高,正常运作成本预算操作在8.5元/吨水以内。

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