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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体技术基带芯片生产厂在晶圆激光加工流程中,用硅烷通过硅外延性植物的生长,烟气洗衣机清洗塔导致高盐浓度含硅生产生活污水。生产生活污水具备有pH变化大(2-11)、硅含氧量高的结构特征,老式除理策略易出现了硅垢堵死方面。 污废水 的成分及的来源 电镀废水重要基本成分为: 消融性硅酸盐 :SiO₂浓硫酸浓度达1000-1500mg/L 磷酸/氢氧化物钠 :清洗塔酸碱度清洗液使用量 颗粒剂硅 :nm级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 :材质其它杂物带到 解决鑫霖环保的流程 改革创新选取"有级中合+膜滤过+蒸发掉结晶体"制作工艺: 二级采和 :用CaO改善pH至4-5,自动生成硅酸钙奠定,硅祛除率60%。 2级结合 :加Na₂CO₃将pH完善至9,进一个步骤凝固剩于硅,串连用镁剂除砷。 反渗透膜设计 :0.02μm瓷砖膜滤过nm级硅粒状,通量稳定性在80LMH。 MVR减压蒸馏器 :浓缩提炼高盐污水,晶体出Na₂SO₄副物料,水回收率超90%。 进而功能 总硅从1500mg/L下降5mg/L下面的 砷水分含量从0.8mg/L低于0.01mg/L 软件无水垢运动突破2年 第一年环保再生资源回收硫酸钠钠晶胞约800吨

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