该成功案例产自华南国家两家较大型半导体行业研发工业单位,一般产量集成化电路系统净化处理芯片。在产量整个过程中,晶圆进行维护清洁、蚀刻等程序需运行巨大光电级磷酸(色度≥85%),由此而知产生了高氧化还原电位含磷废渣。工业单位本身净化处理措施没法具备空前从严的直接直接排放标准的(TP≤0.5mg/L),现需提高处理。
废水处理材料及源头
污化工生活污水 通常来历于二个节点:晶圆清洁器污化工生活污水 (占总用水量60%)、主设备清洁器污化工生活污水 (30%)同时水泥地面清洁器污化工生活污水 (10%)。水质量的特点表面为:pH值1.5-2.5,总磷浓度值800-1200mg/L,氟阴离子纯度50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并有少量巨资属(铜、锌等)。
处里加工生产流程图步骤
内容所采用"预治理+有机化学沉积+高級被氧化+宽度过滤水"的组装生产技术:
调低池
:教育均衡发展水质量发电量,存在pH在线上评估平台
4级响应池
:添加生石灰乳调理pH至8.5-9.0,转变成Ca3(PO4)2放置
二次反应迟钝池
:增添PAC和PAM升星二沉池功效
斜板沉定池
:保证 固液拆分,淤泥进人甩干系统化
Fenton空气氧化單元
:H2O2与Fe²⁺联合做用可降解有机肥料物
多材质过滤装置器
:熔融石英砂+活力炭组合式筛选,确保安全生产水流清晰
铝离子调换操作系统
:进步骤删去残留黑色金属阳离子
结果英文功能
平台启动平稳后,留水水造成的污染:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟铁离子≤5mg/L,每项完成指标远高于《光电子重工业水造成的环境有害特性废气直接摆放标准的》(GB 39731-2020)。今年降底磷废气摆放约15吨,污泥处理行成量较老式制作工艺降底40%,启动总成本保持在8.两元/吨水。